個笑話而已。 畢竟相比阿麥斯的光刻機來說，其光源上面臨的困難也是很多的。 他們之所以放棄鐳射輔助放電等離子體技術，就是因為這些難題一直得不到解決。 大家連忙屏氣凝神，靜待方程的講解。 "先來說一下關於碎屑的控制問題。大家都知道碎屑的產生是因為鐳射轟擊錫物料所產生的。 這種碎屑一旦沉積在反射鏡表面，就會影響到極紫外光的輸出功率，從而影響光刻效率，降低光刻機的使用壽命。 有研究機構提出，可以利用加磁場來降低離子動能。但這隻對帶電離子有效。 也有提出充加緩衝氣體，來增加原子和離子的阻力。效果有嗎？有，可是不大。" 眾人聽了紛紛點頭。 "我們另闢蹊徑，採用了一種全新的技術理論，浮游離子吸附加力引導！ 透過這種技術，可以有效地降低碎屑的單位密度，從而做到對碎屑有效控制。" 方程說完，繼續道："我們再來講一下關於重複頻率的問題…" "等等。"一名老者舉手示意道："方總，你能不能將這個浮游離子吸附加力引導，詳細地講一下？" 方程看了看大家希翼的神情，無奈地說道："大家的想法我知道。可是這是我們公司的機密技術，在這裡實在不方便過多透露。" 有人馬上問道："方總，你的意思是說這項技術你們沒有申請專利嗎？" 方程點了點頭道："沒有。大家都知道申請專利，是需要將技術完全展示的。 在我們還不具備製作出完整光刻機以前，這項技術我們是不會申請專利的。 希望大家能夠理解。" 方程向大家表達了一下歉意後，繼續講起了後面的各種問題。喜歡神工鬼匠()神工鬼匠。